Type de sonde AFM: HQ:DPER-XSC11

Fabricant: MikroMasch (https://www.spmtips.com)

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DPER probe tip close-up

Description du produit:

Les sondes de la série 11 comportent 4 leviers de longueurs différentes, deux de chaque côté du support de préhension. Ils peuvent être utilisés pour différentes applications.

Les sondes DPER sont obtenues par déposition d’une fine couche de métal sur les pointes Silicium. L’épaisseur du dépôt sur la surface du levier est d’environ 15nm, permettant d’atteindre des rayons de pointes inférieurs à 20nm. Ces sondes peuvent être utilisées pour imager des échantillons avec une plus grande résolution dans les directions XY.

Revêtement

Les leviers DPER sont formés par une couche mince de Pt sur les deux faces du levier en silicium. L'épaisseur du dépôt sur la partie plate du levier est d'environ 15nm.

Modes d'Application:

Sondes AFM conductrices

Spécifications de la Sonde AFM:

Pointe(s) AFM:

Forme	Hauteur de la pointe	déport de pointe	Rayon de courbure de la pointe	Angle complet de cone	Demi-angle de cône
Tourné de 180°	15 µm (12 - 18 µm)*	12 - 18 µm*		< 20 nm	40°

Levier(s) AFM:

Cant.	Forme	Longueur	Largeur	Epaisseur	Const. de force	Rép. en fréq.
1Cantilever A	Poutre	500 µm (495 - 505 µm)*	30 µm (27 - 33 µm)*	2.7 µm (2.2 - 3.2 µm)*	0.2 N/m (0.1 - 0.4 N/m)*	15 kHz (12 - 18 kHz)*
2Cantilever B	Poutre	210 µm (205 - 215 µm)*	30 µm (27 - 33 µm)*	2.7 µm (2.2 - 3.2 µm)*	2.7 N/m (1.1 - 5.6 N/m)*	80 kHz (60 - 100 kHz)*
3Cantilever C	Poutre	150 µm (145 - 155 µm)*	30 µm (27 - 33 µm)*	2.7 µm (2.2 - 3.2 µm)*	7 N/m (3 - 16 N/m)*	155 kHz (115 - 200 kHz)*
4Cantilever D	Poutre	100 µm (95 - 105 µm)*	50 µm (45 - 55 µm)*	2.7 µm (2.2 - 3.2 µm)*	42 N/m (17 - 90 N/m)*	350 kHz (250 - 465 kHz)*

* Gamme typique

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